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PRODUCT FEATURES
产品特点
精准控制
采用多级脉冲和脉冲波形控制技术
实现精密的射频调节
可通过精密调节功率输出提升射频稳定性
够快速响应等离子体变化,为客户提供可靠的脉冲控制
性能稳定
进行特征分析和自适应调控
实时检测反射系数并调整输出频率
射频电源系统高效、稳定地运行
提升射频电源整体性能和运行稳定性
频率范围广
产品覆盖广泛的射频能量范围
可满足不同客户的需求
实现工艺控制的优化
测试
测试
星耀国际半导体科技股份有限公司
地址:江苏省扬州市邗江区蜀岗西路19号1
电话:86-0514-87958686
传真:86-0514-87958686
邮箱:ec@fhzxgs.com
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