星耀国际半导体服务热线
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Focus 系列
- 频率覆盖400kHz-60MHz，单频或多频应用
- 可满足连续波/脉冲信号检测和匹配
- 最快匹配速度可达0.2s
- 数字化控制系统，具备双输出通道集成自动匹配、自动按比例功分等智能化功能
- 主要应用工艺：配套射频电源使用
ADP 系列
- 可满足400kHz+13.56MHz、400kHZ+27.12MHz、400kHz+40.68MHz 双频段
- 多频隔离度可达50db以上
- 最快匹配速度可达0.2s
- 具备多输出通道集成自动匹配、自动按比例功分等智能化功能，可实现半导体工艺设备一腔多站式应用
- 主要应用工艺：配套射频电源使用