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PRODUCT FEATURES
产品特点
Advance 系列
频率覆盖200kHz-60MHz
大功率特点,最高可达50kW
支持4级脉冲,脉冲频率范围100Hz-400kHz
具备自动变频调谐功能
主要应用工艺:高深宽比刻蚀
Advocate 系列
频率覆盖200kHz-60MHz
中低功率特点,功率覆盖1kW-12kW
支持4级脉冲,脉冲频率范围10Hz-30kHz
具备自动变频调谐功能
主要应用工艺:刻蚀、薄膜沉积
星耀国际半导体科技股份有限公司
地址:江苏省扬州市邗江区蜀岗西路19号1
电话:86-0514-87958686
传真:86-0514-87958686
邮箱:ec@fhzxgs.com
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